Modelowanie mikrosystemów
Materiały wykładowe
Materiały do laboratorium
Literatura
- ANSYS Tutorial
- Dacko M., Borkowski W., Dobrociński S., Niezgoda T., Wieczorek M.: Metoda elementów skończonych w mechanice konstrukcji, Arkady, Warszawa 1994
- Gad el Hak M.: The MEMS Handbook, CRC PRESS, USA 2002
- Łaczek S.: Wprowadzenie do systemu elementów skończonych ANSYS (Ver. 5.0 i 5-ED), Wydawnictwo Politechniki Krakowskiej, Kraków 1999
- Maluf N.: An Introduction to Micromechanical Systems Engineering, Artech House, USA 2000
- Napieralski A., Daniel M., Szermer M., Ślusarczyk K.: Mikromaszyny i czujniki półprzewodnikowe, Wyd. PŁ, Lodart, Łódź 2001
- SUGAR Tutorial