Mikro i nanosystemy
Materiały wykładowe
Materiały do laboratorium
Literatura
- Dziuban J.A.: Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2002
- Gad el Hak M.: The MEMS Handbook, CRC PRESS, USA 2002
- Maluf N.: An Introduction to Micromechanical Systems Engineering, Artech House, USA 2000
- Napieralski A., Daniel M., Szermer M., Ślusarczyk K.: Mikromaszyny i czujniki półprzewodnikowe, Wyd. PŁ, Lodart, Łódź 2001
- Napieralski A.: Mikrosystemy zintegrowane w technologiach krzemowych, Elektronika Nr 4, 2001, str. 3-11